上海伯东 KRI 射频离子源 RFICP 140

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上海伯东代理美国原装进口KRI 射频离子源 RFICP140是一款紧凑的有栅极离子源,非常适用于离子束溅射沉积,离子辅助沉积和离子束刻蚀.在离子束溅射工艺中，射频离子源 RFICP140配有离子光学元件,可以很好的控制离子束去溅射靶材,实现好的薄膜特性.同样的在离子束辅助沉积和离子束刻蚀工艺中,好的离子光学元件能够完成发散和聚集离子束的任务.就标准的型号而言,可以在离子能量为100~1000eV范围内获得很高的离子密度.可以输出大600mA离子流

 

KRI 射频离子源 RFICP140技术参数:

型号RFICP 140

Discharge 阳极RF 射频

离子束流 600 mA

离子动能100-1200 V

栅极直径14 cm Φ

离子束聚焦, 平行, 散射

流量5-30 sccm

通气Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型压力< 0.5m Torr

长度24.6 cm

直径24.6 cm

中和器LFN 2000

KRI 射频离子源 RFICP140应用领域：

预清洗

表面改性

辅助镀膜(光学镀膜)IBAD,

溅镀和蒸发镀膜PC

离子溅射沉积和多层结构

离子蚀刻IBE 

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. KRi 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.

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上海伯东--您理想的真空合作伙伴！ 伯东公司成立于1953 年，范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作，集团年营业额约为亿人民币。伯东公司在国内主要城市：北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。 上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供世界的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念，已累计为超过10,000家企业提供真空服务，覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。 上海伯东代理品牌包含：德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Brooks Polycold 制冷机，美国HVA 真空阀门，美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机，离子蚀刻机，真空镀膜系统及配套真空零配件等。 上海伯东作为真空品牌指定授权代理商，全权负责在中国地区的销售和维修服务，% 使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师；拥有完全的拆解，维修，校正能力并提供24小时在线服务。