上海伯东 KRI 考夫曼离子源 KDC 75

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上海伯东代理美国原装进口 KRI 考夫曼离子源 KDC 75:紧凑栅极离子源,离子束直径 14 cm ,可安装在 8“CF法兰. 适用于中小型腔内, 考夫曼离子源 KDC 75 包含2个阴极灯丝, 其中一个作为备用,KDC 75 提供紧密聚焦的电子束特别适合溅射镀膜. 标准配置下离子能量范围 100 至 1200ev, 离子电流可以超过 250 mA.

KRI 考夫曼离子源 KDC 75 技术参数：

型号KDC 75 / KDC 75L(低电流输出)

供电DC magnetic confinement

 - 阴极灯丝2

 - 阳极电压0-100V DC

电子束OptiBeam™

 - 栅极专用, 自对准

 -栅极直径7.5 cm

中和器灯丝

电源控制KSC 1212 或 KSC 1202

配置-

 - 阴极中和器Filament, Sidewinder Filament  或LFN 2000

 - 安装移动或快速法兰

 - 高度7.9'

 - 直径5.5'

 - 离子束聚焦

平行

散设

 -加工材料金属

电介质

半导体

 -工艺气体惰性

活性

混合

 -安装距离6-24”

 - 自动控制控制4种气体

* 可选: 一个阴极灯丝; 可调角度的支架

KRI 考夫曼离子源 KDC 75 应用领域：

溅镀和蒸发镀膜 PC

辅助镀膜(光学镀膜)IBAD

表面改性,SM

离子溅射沉积和多层结构 IBSD

离子蚀刻 IBE

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. KRi 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.

若您需要进一步的了解产品详细信息或讨论, 请联络上海伯东邓女士, 分机134

上海伯东--您理想的真空合作伙伴！ 伯东公司成立于1953 年，范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作，集团年营业额约为亿人民币。伯东公司在国内主要城市：北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。 上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供世界的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念，已累计为超过10,000家企业提供真空服务，覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。 上海伯东代理品牌包含：德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Brooks Polycold 制冷机，美国HVA 真空阀门，美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机，离子蚀刻机，真空镀膜系统及配套真空零配件等。 上海伯东作为真空品牌指定授权代理商，全权负责在中国地区的销售和维修服务，% 使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师；拥有完全的拆解，维修，校正能力并提供24小时在线服务。