产品详情 公司简介
蒸发卷绕机,价格适中的直流磁控濺射镀膜设备在哪买, 肇庆市高要区恒誉真空技术有限公司成立于2012-07-23,拥有可靠的产品服务和过人的产品质量,生产供应的直流磁控濺射镀膜设备拥有用户需求的性能,提供颇具竞争力的制造成本。作为一家有限责任公司,公司屹立于机械和行业设备专用配件行业领域已多年,为地为中小企业的产品设计提供帮助,公司依靠科技进步和严格管理,完善的服务,为用户提供优异高能的直流磁控濺射镀膜设备。
公司的主要经营方向是销售,敢于尝试新方法,在销售范围内采用批发;零售;的方式,为全国;广东的中小企业提供直流磁控濺射镀膜设备。如若您选择我司的产品,我们基于“急用户所急,想用户所想”的立场,将以陆运;公路运输的方式发货,敬请耐心跟进商品的物流信息及时查收。
恒誉真空本着可靠执着,精益求精的精神,践行“质量是企业信誉的基石”的指导方针。从产品品质着手生产制造直流磁控濺射镀膜设备,以客户的需求为生产的源动力,直流磁控濺射镀膜设备有着良好的用户评价。坚持以“质量取胜”的生产原则,力求为想购买直流磁控濺射镀膜设备的客户群众提供满意、放心的产品。
蒸发卷绕机,
平衡态磁控阴极内外磁钢的磁通量大致相等,两极磁力线闭合于靶面,很好地将电子/等离子体约束在靶面附近,增加碰撞几率,提高了离化效率,因而在较低的工作气压和电压下就能起辉并维持辉光放电,靶材利用率相对较高,但由于电子沿磁力线运动主要闭合于靶面,基片区域所受离子轰击较小.非平衡磁控溅射技术概念,即让磁控阴极外磁极磁通大于内磁极,两极磁力线在靶面不完全闭合,部分磁力线可沿靶的边缘延伸到基片区域,从而部分电子可以沿着磁力线扩展到基片,增加基片区域的等离子体密度和气体电离率.不管平衡非平衡,若磁铁静止,其磁场特性决定一般靶材利用率小于30%。为增大靶材利用率,可采用旋转磁场。但旋转磁场需要旋转机构,同时溅射速率要减小。
旋转磁场多用于大型或贵重靶。如半导体膜溅射。对于小型设备和一般工业设备,多用磁场静止靶源。用磁控靶源溅射金属和合金很容易,点火和溅射很方便。这是因为靶(阴极),等离子体,和被溅零件/真空腔体可形成回路。但若溅射绝缘体如陶瓷则回路断了。于是人们采用高频电源,回路中加入很强的电容。这样在绝缘回路中靶材成了一个电容。但高频磁控溅射电源昂贵,溅射速率很小,同时接地技术很复杂,因而难大规模采用。为解决此问题,发明了磁控反应溅射。就是用金属靶,加入氩气和反应气体如氮气或氧气。当金属靶材撞向零件时由于能量转化,与反应气体化合生成氮化物或氧化物。磁控反应溅射绝缘体看似容易,而实际操作困难。
主要问题是反应不光发生在零件表面,也发生在阳极,真空腔体表面,以及靶源表面。从而引起灭火,靶源和工件表面起弧等。德国莱宝发明的孪生靶源技术,很好的解决了这个问题。其原理是一对靶源互相为阴阳极,从而消除阳极表面氧化或氮化。冷却是源(磁控,多弧,离子)所必需,因为能量很大一部分转为热量,若无冷却或冷却不足,这种热量将使靶源温度达一千度以上从而溶化整个靶源。
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