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全氟橡胶O型圈(FFKM)类似聚四氟乙烯(PTFE)材料,全氟橡胶具有优异耐化学性和耐高温性。普通全氟橡胶O型圈工作温度为-250℃~240℃,特殊全氟橡胶O型圈温度可达320℃。
优点:耐热性极好,优异的抗化学特性;缺点:耐低温较差,原料价格偏高,生产难度比较大。全氟橡胶O型圈广泛地运用于半导体产业及信息相关产业所运用, 运用范围包含薄膜制程中之PVC, CVD及蚀刻制程及各种高真空密封制程。
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